ເຄື່ອງກວດອຸນຫະພູມຄວາມຕ້ານທານ (RTDs), ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຕ້ານທານ, ຮັບຮູ້ອຸນຫະພູມຂະບວນການຢ່າງຖືກຕ້ອງດ້ວຍລະດັບທີ່ດີເລີດຂອງການເຮັດຊ້ໍາແລະການປ່ຽນແປງຂອງອົງປະກອບ.ໂດຍການເລືອກອົງປະກອບທີ່ເຫມາະສົມແລະການປົກຫຸ້ມຂອງປ້ອງກັນ, RTDs ສາມາດດໍາເນີນການໃນລະດັບອຸນຫະພູມຂອງ (-200 ຫາ 600) °C [-328 ຫາ 1112] ° F.